半导体如何检测？

　　

 

　　对于半导体检测而言，虽然在批量生产、实验室、晶圆等环节都需要用到，相关环节也比较复杂，但是电性能测试则是较为基本的环节。半导体器件或模组，在研发、设计及生产过程中，都免不了这一环节。

 

　　在半导体检测电性能测试环节，目前的测试方案就是源测量单元。SMU是一种精嘧电源仪器，具备电压输出和测量以及电流输出和测量功能。这种对电压和电流的控制使得可以灵活地通过欧姆定律计算电阻和功率。可同时控制与量测精度高的电压、电流，为消费性电子产品、IC设计与验证、学术等实验室提供电性能测试。

 

　　对于半导体芯片而言，半导体检测仪器参数的微小调整就有可能产生不同的结果。因此需要熟悉源测量单元实用指南，针对测量精度、测量速度、电线电阻消除、偏移电压补偿、外部噪声、避免电流泄露以及校准等环节的具体说明。